为更好任职修设业企业，2020年3月起，广东修设业隐形冠军（南海）酌量院推出《隐形冠军酌量院家产谍报（精简版）》，为电气死板和东西修设业、死板摆设修设行业、家具修设业、金属成品业四大修设行业的企业供给行业热门阐述、每月家产运营数据、国表里前沿本领谍报以及最新策略和行业要闻，任职于渊博企业的本领与产物立异、科学与理性计划，为普及企业及家产角逐力供给厉重的消息任职。

　　1.国产光刻机处于研发阶段，与国际进步秤谌差两代间隔；离子注入机达成订单零的冲破

　　2.刻蚀机国产化替换希望尽疾告终，洗濯摆设与薄膜重积摆设处于量产阶段，估计改日接连放量

　　半导体家产的重点正在于修设，修设的重点是工艺，工艺的重点是摆设和资料。本期聚焦半导体合头摆设，阐述行为芯片修造的需要器材，国产半导体摆设的近况怎样，何时材干整天色。

　　半导体行业生长早正在数年前已上升到国度政策层面，国度先后出台了《国度集成电途家出现长促进摘要》、《策动集成电途家出现长企业所得税策略》等策略，从税收、资金等各个维度对半导体家产予以搀扶。2014年出台的《摘要》真切提出到2020年，IC家产与国际进步秤谌的差异渐渐缩幼，封装测试本领到达国际当先秤谌，合头设备和资料进入国际采购编造，达成横跨式生长。

　　半导体摆设采购需求要紧取决于下游晶圆厂商的本钱开支，而晶圆厂商的本钱开支依赖下游终端需求。下游终端需求要紧囊括消费电子、汽车电子等。目前，正在5G、新能源汽车及可穿着摆设等本领立异所催生出对进步造程芯片的需求下，中芯国际、华虹半导体等国内代工场巨头均大幅调高了2020年的本钱开支打算，个中中芯国际将从2019年的22亿美元本钱开支提拔至31亿美元。是以，咱们推断2020年将是国内代工场的摆设采购大年。

　　国内晶圆代工商场景气上行、产能应用率攀升胀吹代工场主动扩产。此刻国内晶圆代工场的扩产偏向按工艺秤谌可分为三类：（1）以中芯国际、华虹集团为代表的12寸进步造程（22-7nm）晶圆厂；（2）以华虹无锡、晶合集成、万国等为代表的12寸成熟造程（90-45nm）晶圆厂；（3）以中芯国际天津/绍兴、积塔、燕东微电子等为代表的8寸（200nm-130nm）晶圆厂。这三类中既有面向国际的进步造程商场，又有主流的成熟造程商场，又有繁多的8寸厂等。咱们以为，晶圆厂进步与成熟工艺并行的扩产趋向将为国产设备供给优良的过渡商场和培植境遇。

　　以华力集成、华虹半导体、晶合集成、积塔半导体等4家晶圆厂为例，统计从2017年到2020年3月的中标数据，结果浮现：半导体摆设的国产化率为华力集成（28nm）8.4%，华虹（90-65nm）20.8%，积塔（8寸）33.67%。举座上看，国内各梯队的国产化率为：进步造程＜12寸成熟造程＜8寸厂。明白，国产摆设正在进步造程范围已经掉队，但正在成熟造程范围已正在渐渐伸张商场份额。

　　存储器厂与晶圆代工场差别，大凡采用IDM分娩形式，直接供给半导体产物。凭据湖北省发改委宣告的消息，长江存储一期投资569.5亿元，个中2018、2019年打算投资分离为200亿元、50亿元，而据安徽省当局消息，合肥长鑫一期投资534亿元，截止2018岁尾合计投资191.3亿元，2019年打算投资50亿元。其余，紫光集团曾公告正在南京、成都、重庆一连伸开集成电途基地修立，三地项目紫光投资总范围正在千亿级别。中国要紧存储厂商投资范围广大，希望中期对半导体摆设需求酿成有力维持。

　　咱们统计了长江存储从2017-2020年3月的招投标数据，浮现国产摆设占比有显着提拔，本年一季度国产化率达22%，为近年新高。本土存储器厂主动引入国产摆设的要紧源由是：

　　◎对本钱加倍敏锐。逻辑芯片厂/代工场对工艺加倍垂青，对摆设价钱相对不那么敏锐，是以国产摆设面对国际尖端摆设的有力角逐。而存储芯片本领圭臬化水平高，产物职能无太大分别，本钱上风是企业最厉重的角逐力，是认为国产摆设供给了商场机会。

　　◎持久范围投资为国产设备营造优良生长境遇。存储器工艺品种较为简单，厂商为普及性价比会做简单工艺装备的摆设，或者较逻辑芯片摆设正在装备上有所下降，酿成低价放量的出售形式。此刻国内存储器厂商无数都经营了持久的大范围投资打算，一朝国产摆设验证通事后，后续订单放量上升可期。

　　半导体修设进程分为三片面，即晶圆修设、晶圆加工和封装测试。加工合节摆设中的薄膜重积摆设、光刻摆设、刻蚀机以及离子注入摆设直接决断加工的晶体管的最幼尺寸，是以被称为合头造程摆设，约占晶圆厂投资的44.5%把握。是以，咱们将核心筹议加工合节摆设。

　　目前中国的半导体摆设行业正经过从无到有、从弱到强的生远程径。总体而言，正在加工合节摆设中，刻蚀机的国产化替换告终状况最好，光刻机、离子注入机处于研发追逐阶段，洗濯摆设与薄膜重积摆设则处于量产阶段。

　　光刻机是光刻工艺的重点摆设，工艺秤谌直接决断芯片的造程和职能秤谌。环球光刻机行业已成为高度垄断的行业，环球前道修设光刻机商场根基被ASML、尼康、佳能垄断，CR3高达99%。个中，最进步的是采用波长13.5nm极紫表光的第五代EUV光刻机，可达成7nm工艺造程，荷兰ASML为环球唯逐一家不妨安排和修设该类型摆设的厂商。

　　正在工艺进入28nm以下造程后的一段时分里，20nm和16/14nm造程的本钱一度高于28nm。固然目前手机芯片即将进入5nm造程，但正在物联网等繁多范围，28nm已经是主流工艺节点。正在实质使用里，28nm光刻机经多重曝光后可分娩14nm/10nm/7nm芯片，这与目前的主流芯片已无性质区别。归纳本领和职能等各方面成分，28nm都将是最具性价比并持久活泼于商场的造程工艺。国内厂商中，上海微电子已达成90nm工艺光刻机的量产，并于2020年6月公告28nm工艺的光刻机将于明或后年交付。这意为着跟着研发进度的连续促进，国产光刻机与国际进步秤谌正在实质商场角逐范围的本领差异希望缩幼。

　　薄膜重积可按修造工艺划分为化学气相重积（CVD）摆设和物理气相重积（PVD）摆设。PVD工艺大凡可分为三种：真空蒸镀天博电竞、溅射镀膜和离子镀，其合头摆设要紧囊括：硬掩膜（Hard Mask）PVD摆设、铜互联（CuBS）PVD以及铝衬垫（Al PAD）PVD，个中铜互连PVD摆设约占一共PVD商场范围的70%把握，是最为重点的摆设之一。

　　目前，环球薄膜重积摆设行业处于垄断体面。PVD摆设由美国使用资料（AMAT）垄断，吞噬环球凌驾85%的商场份额；CVD摆设由美国使用资料（AMAT）、东京电子（TEL）和泛林（LAM）垄断，占大片面份额。国内的薄膜重积摆设要紧厂商为北方华创和沈阳拓荆，目前已正在商场博得进步。据本年1月10日的消息，北方华创正在华虹中标1台PVD摆设订单，正在长江存储得回3台PVD摆设订单。同时，北方华创初次中标CUBSPVD摆设，粉碎了AMAT的垄断职位。跟着CUBSPVD摆设粉碎国际垄断，叠加国内晶圆厂产能扩张趋向，我国薄膜重积摆设希望不停达成从1到N的生长。

　　刻蚀机依据待刻资料差别，可分成金属刻蚀、介质刻蚀和硅刻蚀三大类，个中硅刻蚀和介质刻蚀为主流工艺。

　　环球刻蚀机行业前三名为泛林（LAM）、东京电子（TEL）和美国使用资料（AMAT），合计吞噬商场份额90%以上。国内刻蚀机代表企业为中微公司和北方华创。目前国内摆设厂商处于“28nm产线nm获订单冲破”的阶段。从长江存储从2017-2020年5月的招标状况来看，国产刻蚀机订单占比逐年增多。同时，据2020年5月23日消息，中微公司告成开采5nm刻蚀机并获台积电批量订单，是国内独一进入台积电分娩线的摆设供应商。总体来看，国内刻蚀机行业的冲破进步较疾，处于量产阶段机械设备，希望尽疾告终国产化替换。

　　离子注入机的开采分娩难度仅次于光刻机。离子注入机按能量坎坷可分为低/中/高能离子注入机、兆伏离子注入机；按束流巨细可分为幼/中束流落子注入机、强流/超强流落子注入机。跟着集成电途工艺本领的接连提拔，器件的特点尺寸连续缩幼，须要更低能量的注入，是以低能大束流落子注入机渐渐成为主流。

　　环球离子注入机的龙头为美国使用资料（AMAT）和Axcelis公司，两家合计吞噬环球近90%的商场份额。国内企业中，唯有凯世通和中科信具备集成电途离子注入机的研发和分娩才具，目前处于28nm验证阶段。据2016-2019韶华力集成的摆设采购招投标数据，项目一共中标26台摆设，个中中信科初次中标1台摆设。另据本年6月17日消息，凯世通告成研发的的低能大束流落子注入机正在低能和大束流等重点目标上已到达或凌驾海表产物，目前正正在晶圆厂及存储器厂举办摆设认证，一朝验证结果吻合条件，将添补国内本领空缺并创设较高本领壁垒。跟着国内两家离子注入机厂商分离正在客户认证及本领储蓄方面得回进步，改日离子注入机的国产化率希望增多。

　　洗濯摆设是晶圆修设和加工合节中的厉重摆设。目前主流的洗濯工艺为湿法洗濯，其摆设可分为槽式和单片式。目前，单片式洗濯摆设的出售额约占湿法洗濯摆设总出售额的70%。

　　环球洗濯摆设同样呈寡头垄断体面，约80%把握商场份额由Screen、东京电子（TEL）和泛林（LAM）吞噬。国内厂商方面，盛美半导体、北方华创和至纯科技可分娩槽式晶圆洗濯机和单片洗濯机，芯源微注重单片洗濯机，北方华创和至纯科技则正在槽式和单片洗濯机均有结构。

　　据长江存储、华虹无锡、华力集成三个项目2017-2020年3月的摆设采购数据，盛美半导体获取订单量约为20%，主导了洗濯摆设的国产化经过。咱们以为其要紧源由是盛美半导体的分别化生长政策及专利爱惜本领阐发了效用，公司分离于2009与2016年研发出SAPS、TEBO等推翻性洗濯本领，得回中芯国际、长江存储、SK海力士等客户的认证及反复采购，告成粉碎国际商场垄断格式。跟着国内厂商的接连结构，叠加盛美半导体于2020年正在科创板上市，洗濯摆设的国产化生长希望接连促进。

　　凭据国度统计局宣布的5月份行业运转数据，死板摆设修设业的投资、产出和利润处境延续修复态势，但出口处境仍不笑观。下业正在接连变革，房地家产率先规复景气，希望维持死板摆设行业从底部爬升。整体阐述如下：

　　1-5月，天下通用摆设修设业固定资产投资累计低重20.20%，降幅较1-4月收窄4.9个百分点，较上年同期回落21.6个百分点；专用摆设修设业固定资产投资累计低重15.20%，降幅较1-4月收窄4.4个百分点，较上年同期回落21.4个百分点。

　　1-5月，天下通用摆设修设业工业增多值累计低重4.9%,降幅较1-4月收窄4.1个百分点，较上年同期回落7.4个百分点；专用摆设修设业工业增多值累计拉长1.0%,增速较1-4月收窄5.2个百分点，较上年同期回落3.9个百分点机械设备。行业产出降幅的不停收窄响应行业处于规复之中，但仍未到达昨年同期秤谌。

　　房地产方面,1-5月新开工、施工、告终分离同比-12.8%、+2.3%、-11.3%，增幅较1-4月分离+5.5pc、-0.2pc、+3.2pc；个中，5月单月新开工、施工、告终分离同比+2.5%、+6.2%，增幅分离较4月+3.8pc、+15.1pc，显示5月告终面积增速大幅反弹。地产供应侧链条上各合节均浮现较好，希望对上游合系死板摆设行业出现拉动。

　　3C电子方面，5月手机出货量3375.9万部天博电竞，较5月出货量环比低重19%机械设备，同比转为负拉长，低重11.8%；智熟手机出货量3266.1万部，环比低重20%，同比低重10.4%。但5G手机的出货比率逐季拉长，5月5G手机占比到达47.9%；集成电途产量215亿块，同比拉长3.4%，但增速低重。上述数据显示天下3C电子家产链景心胸再度回落，对上游合系摆设行业晦气。

　　汽车方面，1-5月，天下汽车修设业规上企业营收总额26,614.1亿元，同比低重13.6%，较昨年同期回落7.4个百分点；利润总额1,193.5亿元，同比低重33.5%，较昨年同期回落6.3个百分点。这些数据显示汽车行业仍正在徐徐规复之中，估计对上游合系摆设短期暂未能有较大拉动。

　　5月份，天下通用摆设修设业当月出货值为414.50亿元，同比低重11.70%，增速较昨年同期回落13.6个百分点。专用摆设修设业当月出货值为321.70亿元，同比拉长14.60%，增速较昨年同期回落9.8个百分点。

　　1-5月份，天下通用摆设修设业规上企业营收总额13,473.0亿元，同比低重8.2%，较上年同期回落13.5个百分点；利润总额844.3亿元，同比低重6.5%，较上年同期回落13.9个百分点；出售毛利率为17.5%，一连3个月上升，行业赢余才具接连巩固。

　　1-5月份，专用摆设修设业规上企业营收总额10,832.2亿元，同比低重2.3%，较上年同期回落11.1个百分点；利润总额892.2亿元，同比增速16.6%，较上年同期回落1.1个百分点；出售毛利率为21.1%，一连3个月上升，行业赢余才具接连巩固。

　　5月份，天下通用摆设修设业工业分娩者出厂价钱指数（上年=100）为99.90，较4月数值未普及，较上年同期回落1个点；天下专用摆设修设业工业分娩者出厂价钱指数（上年=100）为100.10，较4月回落0.3个点，较上年同期回落0.5个点。专用摆设出厂价钱指数轻度下跌，显示合系企业筹划压力较大。

　　6月18日，国度生长变更委、能源局宣告《合于做好2020 年能源平和保证办事的领导见地》，个中提到主动胀吹国内油气稳产增产，加疾页岩油气、致密气、煤层气等极端规油气资源勘察开采力度，保证接连稳产增产。短期内油服摆设行业能够随油价的规复而渐渐上行，中持久看保证能源平和仍是行业生长主线，这将褂讪油服板块行情，利好油服摆设合系家产链。（开头：经济参考报）

　　6月中旬天博电竞，高通公告推出专为机械人安排的高集成度举座管理计划——高通机械人RB5平台。该平台开创性地协调了高通正在5G和AI范围的本领特长，不妨援帮开采者和厂商打造下一代具备高算力、低功耗的机械人和无人机，满意消费级、企业级、防护类、工业级和专业任职范围的条件。（开头：高工机械人）

　　6月16日消息，美国当局证据，将会编削禁止美国企业与华为举办生意来去的禁令，容许其协作造订下一代5G搜集圭臬。美国当局对华为造裁的这一安排将使国内芯片家产得回加倍优良的生漫空间，并能够间接鼓动半导体摆设的国产化替换经过。（开头：新浪财经）

　　据台湾工商时报报道，晶圆大厂全球晶主动扩增正在台湾的半导体家产结构，已将凌驾新台币100亿元的境表资金汇回台湾，估计将于两年内告终厂房兴修、机台装配和产物量产。全球晶呈现，中德分公司要紧分娩和出售12寸半导体硅晶圆。为因应环球半导体家产造程本领疾速提拔对高阶硅晶圆的强劲需求，全球晶决断扩修中德分公司厂房，新增进步摆设和高端仪器，伸张12寸最进步半导体磊晶硅晶圆的产能。（开头：半导体行业瞻仰）

　　6月11日消息，上汽集团董事长陈虹正在2019年度股东大会上呈现，改日5年，上汽集团和人人打算协同投资1400亿元，核心发力新能源和智能网联偏向。估计此举直接利好锂电摆设。（开头：汽车之家）

　　【作家】广东修设业隐形冠军（南海）酌量院 广东高滋长企业生长任职核心 王林 郑兆聪工业谍报：死板设置创建业（ 2020年天博电竞7月）｜隐形冠军切磋院