正在国度战略和资金的大肆援救下，中国表现出一批高本质的国内半导体设置缔造商，这些厂商拥有与国际巨头比赛的潜力。国内要紧半导体设置缔造商搜罗：NAURA、AMEC、JSG、CETC和其他未上市公司。

　　近年来我国集成电道（IC）家当繁盛发达，强壮的商场需乞降当局投资是鞭策这一发达的要紧动力。中国IC家当的位子和发达势头也惹起了国际同业的普通眷注和珍贵。JoMM邀请了一批国内IC专家撰写一系列相合中国IC家当的作品，搜罗史乘、近况、发达以及当局合系战略。这些作品中的讯息整个来自近年来的大家数据。这些作品旨正在促进中国国内IC家当与国际IC生态编造的互相清楚。

　　1、设置商场理会半导体设置处于半导体家当链的上游，其商场周围随下游半导体家当的手艺发达和商场需求而动摇。据SEMI统计，2020年环球半导体设置商场到达创记载的689亿美元，同比伸长16%，2021年将到达719亿美元，同比伸长4.4%。2022年将连结伸长势头，商场资金将到达761亿美元，同比伸长5.8%。

　　如图1所示，中国半导体设置正在环球商场的份额逐年上升。SEMI估计，到2020年，中国大陆半导体设置商场周围将到达181亿美元，同比伸长34.6%，成为环球最大的半导体设置商场机械设备。正在2020年中国对晶圆厂举办茂密的资金加入后，SEMI预测，2021年中国大陆半导体设置商场将略有低重，商场周围为168亿美元，同比低重7%。

　　亿元。2019年，中国大陆半导体设置商场周围为134.5亿美元，当地化率约为17%（图2），国产替换空间强壮。跟着美国络续加紧手艺和设置封闭，国内半导体设置替换的步骤正正在加疾。正在战略和资金的大肆援救下，国产设置企业正在蚀刻、薄膜重积、测试等诸多周围不休获得冲破。

　　2、中国大陆（2019年）半导体设置国内商场据有率2019年，中国半导体设置出卖收入前十位的企业实现出卖收入143.43亿元，同比伸长51.1%。2019年，十泰半导体设置公司的出卖收入占47家半导体设置缔造商总收入的88.6%。2019年，浙江晶盛机电有限公司（JSG）正在2019年中国半导体设置缔造商出卖收入中排名第一，2019年半导体设置出卖收入到达28.86亿元，第二位是北方华创科技集团股份有限公司（NAURA），出卖收入为28.42亿元。不过，从环球半导体设置企业的出卖收入来看，我国半导体设置行业企业周围仍处于较低程度，工业设置要紧依赖表洋企业。

　　国内蚀刻设置、薄膜重积设置和测试设置希望成为半导体设置国产化的先行者。中微半导体设置（上海）股份有限公司（AMEC）和NAURA永诀正在CCP和ICP蚀刻设置周围获得了冲破。局部产物已行使于先辈工艺临蓐线举办验证；NAURA正在PVD周围杀青了国内高端薄膜造备设置的冲破，设置涵盖90-14纳米多工序，沈阳拓荆的设置告成进入长江存储科技有限仔肩公司（YMTC）临蓐线天博电竞。北京华峰测控手艺股份有限公司（AccoTEST）模仿测试设置的国内商场据有率已达60%，后续的SAC项目增加或者为公司带来新的伸漫空间。

　　2、国内半导体设置公司新发达半导体设置要紧用于晶圆缔造与封装测试家当链，晶圆缔造是半导体缔造的第一大合节。晶体成长炉是单晶硅临蓐的要紧半导体设置。国内晶体成长炉公司要紧搜罗JSG、南京晶能半导体科技有限公司（NAST）、大连连城数控机械股份有限公司（LINTON）等。单晶硅棒实现后，必要源委一系列加工技能获取造品硅晶圆天博电竞。涉及的要紧半导体设置是切片机、研磨机、湿法刻蚀机、洗濯机、掷光机和丈量机。国内切片机缔造商要紧搜罗中国电子科技集团有限公司（CETC），JSG，国内磨削设置缔造商要紧搜罗JSG，国内洗濯机缔造商要紧搜罗盛美半导体设置（上海）股份有限公司、NAURA，国内CMP化学呆板掷光设置缔造商要紧搜罗天津华海清科、JSG，国内测试机缔造商要紧搜罗中科飞测和杭州长川科技有限公司。凡是来说，惟有JSG等国内少数厂商推出了极少硅晶片加工设置，商场据有率相对较低。

　　晶圆缔造是半导体缔造历程中最紧急、最杂乱的局部。全面晶圆缔造历程搜罗数百个流程，涉及数十台半导体设置，如图3所示。晶圆缔造的要紧工艺流程搜罗热执掌、光刻、蚀刻、离子注入、薄膜重积、化学呆板掷光和洗濯。

　　3、晶圆缔造工艺。热执掌历程中利用的半导体设置是氧化扩散设置，性质上是高温炉。国内氧化扩散设置缔造商要紧搜罗NAURA和北京屹唐半导体科技有限公司。从YMTC的招标境况来看，氧化扩散设置仍以表洋厂商的设置为主，NAURA等国内厂商的商场份额逐年上升。截至2020年10月，就设置数目而言，NAURA的热执掌设置正在YMTC中的比例已赶上30%天博电竞，屹唐半导体的比例为图4中的1%。

　　4、YMTC热执掌设置中标率光刻历程中最紧急的半导体设置是步进式光刻机。目前，国内要紧拥有步进式光刻机临蓐才力的公司是上海微电子装置（集团）股份有限公司（SMEE）。正在集成电道周围，SMEE的产物要紧搜罗步进式光刻机、晶圆瞄准/键合设置和晶圆缺陷自愿检测设置。公司的步进式光刻机产物为SSX600和SSB500两个系列天博电竞，此中SSX600系列要紧用于IC前道缔造90nm、110nm、280nm症结层和非症结层的光刻工艺需求，SSB500系列光刻机要紧用于集成电道先辈封装周围，如表3。

　　除了SMEE临蓐的步进式光刻整机表，另有北京华卓精科科技股份有限公司（U-PRECISION）和长春国科缜密光学手艺有限公司（CNEPO）正在中国从事步进式光刻机零部件的研发和临蓐。2016年，CNEPO开辟了中国第一套用于先辈IC缔造NA0.75投影式光刻编造的物镜。

　　除了步进式光刻机，光刻历程中利用的半导体设置还搜罗跟踪设置。国内跟踪设置公司是沈阳芯源微电子设置股份有限公司（KINGSEMI）和盛美半导体，如图5所示。

　　5、传送设置国内商场国内蚀刻设置公司要紧搜罗AMEC、NAURA、屹唐半导体和CETC，如图6所示。此中，AMEC、NAURA和屹唐半导体要紧从事干法蚀刻设置的临蓐。除了干蚀刻设置表，CETC 还临蓐湿法蚀刻设置。除上述公司表，北京创世威纳科技有限公司天博电竞、KINGSEMI和华林科纳也临蓐蚀刻设置。

　　6、国内蚀刻设置缔造商。正在国内蚀刻设置缔造商中，AMEC正在CCP蚀刻方面拥有显然的上风。正在逻辑集成电道缔造方面，AMEC的CCP蚀刻设置已进入国际出名晶圆厂的先辈工艺临蓐线D NAND芯片缔造方面，AMEC的CCP蚀刻设置手艺可行使于64层批量临蓐。同时，AMEC 正正在遵照表 4 中内存缔造商的需求开辟 96 层和更先辈的蚀刻设置和工艺。

　　NAURA要紧搜罗ICP蚀刻设置。NAURA 的 ICP 蚀刻设置要紧用于硅蚀刻和金属资料蚀刻。28nm及以上蚀刻设置已杀青家当化。正在先辈缔造工艺方面，NAURA的硅蚀刻设置已冲破14纳米手艺，进入上海集成电道研发核心（ICRD），如表5所示。

　　国内离子注入机的要紧缔造商是凯世通半导体股份公司（Kingstone）和CETC。2020年12月，凯世通发表拟向芯成科技控股有限公司出售3台2英寸集成电道用离子注入机，迈出了国产化的紧急一步。

　　国内集成电道周围的CVD设置缔造商要紧搜罗NAURA和沈阳拓荆，NAURA要紧临蓐APCVD设置和LPCVD设置，而沈阳拓荆要紧临蓐PECVD。遵照中国国际招标网的数据，沈阳拓荆正在YMTC具有3台PECVD设置。

　　目前，ALD设置尚未正在集成电道行业大周围利用。位于NAURA的ALD设置可满意28-14nm FinFET和3D NAND原子层重积历程的需求，目前处于验证阶段。沈阳拓荆正在PECVD根本上自立研发了原子层重积设置，通过临蓐验证，可用于VLSI、OLED和先辈封装等周围。

　　正在PVD设置中，国内PVD缔造商是NAURA，正在溅射源打算手艺、等离子体形成与管造手艺、粒子管造手艺、腔内打算与仿真手艺、软件管造手艺等方面都获得了极少冲破。正在国内集成电道周围，他们获得了国内先辈薄膜造备设置的冲破，设置涉及90-14纳米的多重缔造工艺。据公司官网音书，该公司的PVD设置已被国内先辈的集成电道芯片缔造商指定为28纳米工艺基线机，并告成进入国际供应链体例，如表6所示。

　　CMP设置的要紧国内研发和临蓐公司搜罗天津华海清科，这是目前国内独一批量临蓐的12英寸系列CMP设置。所出卖的半导体设置粉碎了国际缔造商的垄断。

　　国内洗濯设置周围要紧搜罗盛美半导体、NAURA、KINGSEMI、至纯科技。此中，盛美半导体的要紧产物是集成电道周围的单片洗濯设置；NAURA收购美国半导体设置缔造商Akrion后，要紧产物为单片和槽式洗濯设置；KINGSEMI产物要紧行使于集成电道单片颗粒污染物；至纯科技努力于8-12英寸先辈单晶硅湿法洗濯设置及槽式湿法洗濯设置合系手艺。另表，遵照中国国际招标网的统计，正在芯片和集成电道缔造商YMTC、华虹半导体（无锡）有限公司和HLMC二期工程进货的200多台洗濯设置中，供应商按投标数目陈设，顺次为DNS、盛美半导体、LAM、TEL和NAURA，其占比永诀为48%、20.5%、20%、6% 和1%。盛美半导体正在国内洗濯设置供应商中排名第一。可见盛美半导体是国内半导体洗濯设置行业的龙头企业，将来商场发达空间相对较大。希望粉碎表国公司的垄断，推广其商场份额，如图7和表7所示。

　　半导体测试贯穿全面半导体家当链。IC 打算、晶圆缔造和最终芯片封装都必要相应的测试以确保产物德料和产量，如图8所示。

　　要紧用于测试历程的半导体设置是测试机、分选机和探针台。国内检测设置缔造商要紧搜罗AccoTEST和杭州长川科技。他们用心于模仿测试设置和数字/模仿搀和测试设置。此中天博电竞，AccoTEST占国内模仿测试设置商场的近60%。正在中国测试设置商场，存储测试设置和SOC测试设置占要紧商场份额，商场份额永诀为43.8%和23.5%，如图9所示。

　　9、国内商场的模仿测试设置半导体探针台设置行业高度会合。中国最大的两个探针台缔造商是矽电半导体设置（深圳）有限公司（Sidea）和杭州长川科技，CETC也具有探针台的临蓐才力。分选机可按构造分为三类。国内分选机缔造商要紧搜罗杭州长川科技。

　　封装设置要紧搜罗切割和减薄设置、键合设置、分选和测试设置等。国内拥有封装设置缔造才力的企业要紧搜罗CETC和ACCURACY。

　　3、战略和资金概述国度战略大肆援救半导体设置家当的发达，加疾了国产替换历程。“02专项”以还，中国出台了一系列援救半导体家当发达的战略。中国先后公布了《国度集成电道家当发达鼓吹计划》、《合于进一步激励软件家当和集成电道家当发达若干战略的通告》，为半导体家当供给援救。

　　针对半导体国产化的急切需求，国务院于2020年8月公布了《合于鼓吹新时刻集成电道家当和软件家当高质料发达的若干战略》，从财税、融资、人才、商场等多方面援救国内半导体合系题目，如表8和表9所示。

　　国度基金长远到场半导体设置行业。2014年，中国设立了国度集成电道家当投资基金。2018年，国度集成电道家当投资基金第一阶段实现。总投资额1387亿元。共有23家大家投资公司和29家未公然的投资公司。有用投资项目约70个，投资局限遮盖集成电道家当的上下游合节。正在大基金一期投资项目中，集成电道缔造占67%，集成电道打算占17%，封装测试占10%，设置资料占6%。

　　大基金第二阶段将络续援救国内半导体设置的发达。2019年，国度集成电道家当基金第二阶段创设。要紧有三大投资结构和计议宗旨；一是援救龙头企业做大做强；二是酿成家当集群，集团发达，海表发达；三是络续推动国产设置和资料的下使。

　　正在半导体设置方面，基金第一阶段要紧实现家当结构，二期基金将对正在蚀刻设置、薄膜设置、测试设置、洗濯设置等周围安置的企业连结高强度、陆续的援救机械设备，鞭策龙头企业做大，酿成一系列成套设置产物。加疾步进式光刻机、化学呆板掷光设置等症结设置和症结零部件的投资结构，确保家当链安闲。充塞施展基金正在全面家当链中的上风，络续推动设置、集成电道缔造、封装测试等公司的调解，加紧基金投资企业上下游整合，加疾设置从验证到“批量采购”的历程。设置和资料公司争取更多的商场机遇。催促临蓐企业普及国产设置核查采购比例，为国内设置和资料供给工艺验证条目，推广采购周围。

　　正在国度战略和资金的大肆援救下，中国表现出一批高本质的国内半导体设置缔造商，这些厂商拥有与国际巨头比赛的潜力。国内要紧半导体设置缔造商搜罗：NAURA、AMEC、JSG、CETC和其他未上市公司，如表10。

　　跟着半导体手艺的发达，光刻手艺转达图形的尺寸节造缩幼了2～3个数目级（从毫米级到亚微米级），已从向例光学手艺发到达行使电子束、 X射线、微离子束、激光等新手艺；利用波长已从4000埃扩展到 0.1埃数目级。光刻手艺成为一种缜密的微细加工手艺。

　　半导体光刻手艺与行使核心汇集研讨会”，依托“汇集课堂”栏目，邀请业内专家以及厂商手艺职员到场本次汇集研讨会，就半导体光刻手艺等话题联合研讨，为遍及从事半导体光刻设置和手艺研发的专家学者和手艺职员供给一个换取的空间。（点击图片免费报名参会）

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